Отчет о научной и научно-организационной деятельности за 2017 г. Нижний Новгород 2017 отчет


Многослойные зеркала на основе бериллия для ЭУФ диапазона (λ=11,1...30,4 нм)



страница4/111
Дата04.06.2018
Размер2.24 Mb.
ТипОтчет
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   111
3. Многослойные зеркала на основе бериллия для ЭУФ диапазона (λ=11,1...30,4 нм)

Развита технология напыления многослойных зеркал на основе бериллия для диапазона длин волн 11,1...30,4 нм, обеспечивающая коэффициенты отражения, существенно превышающие мировой уровень. В составе оптических систем новые зеркала позволят повысить эффективность нанолитографов следующего поколения, увеличить контраст изображений телескопов для изучения короны Солнца в ЭУФ диапазоне в 1,2...2 раза, в зависимости от конкретной длины волны.



Авторы: Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев, А.А. Нечай, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, В.Н Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Л.А. Суслов, Н.И. Чхало (ИФМ РАН).

Публикации:

1. Chkhalo, N.I. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography / N. Chkhalo, S. Gusev, A. Nechay, D. Pariev, V. Polkovnikov, N. Salashchenko, F. Schäfers, M. Sertsu, A. Sokolov, M. Svechnikov, and D. Tatarsky. High reflective Mo/Be/Si multilayers for the EUV lithography // Optics Letters.-2017 (направлена в печать).

2. Chkhalo, N.I. Be-based multilayers for EUV spectral range / N.I. Chkhalo, D.A. Gaman, A.N. Nechay, D.G. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, F. Schaefers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov, S.Yu. Zuev // The PTB Seminar VUV and EUV Metrology. Berlin, Germany. – 2017.

3. Sertsu, M.G. Nanoscale Mo/Be/Si Multilayer Structures for EUV Lithography application / M.G. Sertsu, F. Schäfers, A. Sokolov, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, D.A. Tatarsky // The Frontier of optical coating (FOC). Guangzhou, China. Sun Yat-sen University. – 2017.








Полученное методом просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) изображение фрагмента сечения многослойного зеркала Mo/Be/Si (a) и профиль поперечного сечения, усредненный по 100 линиям, отмеченным на изображении ПЭМ (b).



4. Нагрев плазмы с твердотельной концентрацией до сотен электрон-вольт фемтосекундным лазерным импульсом

При облучении алюминиевых фольг субмикронной толщины фемтосекундными импульсами интенсивностью выше 1020 Вт/см2 создана плазма с твердотельной плотностью (значительно выше критической) и с температурой около 300 эВ. Эти значения получены из анализа измеренных спектров рентгеновского излучения облучаемой поверхности. Численное моделирование показало, что нагрев происходит в относительно тонком слое плазмы вблизи облучаемой границы мишени. Это было достигнуто за счёт использования лазерного импульса с оптимальным для нагрева плазмы временным контрастом.



Авторы: Соловьёв А.А., Бурдонов К.Ф., Еремеев А., Коржиманов А.В., Сладков А.Д., Гинзбург В.Н., Хазанов Е.А., Кузьмин А.А., Османов Р., Шайкин И.А., Шайкин А.А., Яковлев И.В., Стародубцев М.В., Chen S.N., Revet G., Fuchs J. (ИПФ РАН); Покровский Г.В., Пикуз Т.А., Пикуз С.А. (ОИВТ РАН).

Публикации:

1. A. Soloviev, K. Burdonov, S. N. Chen, A. Eremeev, A. Korzhimanov, G. V. Pokrovskiy, T. A. Pikuz, G. Revet, A. Sladkov, V. Ginzburg, E. Khazanov, A. Kuzmin, R. Osmanov, I. Shaikin, A. Shaykin, I. Yakovlev, S. Pikuz, M. Starodubtsev, J. Fuchs, Experimental evidence for short-pulse laser heating of solid-density target to high bulk temperatures, Scientific Reports 7, 12144 (2017).







Поделитесь с Вашими друзьями:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   ...   111


База данных защищена авторским правом ©znate.ru 2019
обратиться к администрации

    Главная страница